Александр Былицкий

Меня зовут Александр. Занимаюсь спортом, увлекаюсь игрой на гитаре. Пишу статьи по электронике и самоделкам

14 мая 2020Читать 1 минуту

Что такое магнетронное распыление

Слышали про магнетронное распыление? Нет?

Тогда усаживайтесь подобнее и начинаем)

Магнетронное распыление - технология нанесения тонкопленочных покрытий при помощи катодного распыления мишени в магнетронном разряде.

Устройства, предназначенные для распыления, называют магнетронными распылительными системами или магнетронами (не путайте с вакуумным магнетроном - устройство для генераци СВЧ колебаний).

Магнетронные распылительные системы относятся с системам диодного типа. Процесс распыления происходит за счет бомбардировки поверхности распыляемой мишени ионами инертного газа.

В состав системы входит:

мишень из распыляемого материала, она выступает в роли катода
магниты, создающие магнитное поле вокруг мишени
в качестве анода могут использоваться сами стенки камеры или электрод внутри камеры

Электроны уходят с поверхности за счет бомбардировки ионами.

Система магнитов расположена так, чтобы создать поперечное электическому магнитне поле. Электрон возвращается на катод с нулевой скоростью и опять ускоряется за счет электрического поля.

В результате бомбардировки ионами с поверхности мишени вылетают атомы материала, которые формируют тонкопленочное покрытие на подложке.